2024-10-29 00:27:11
微泰,屏蔽閘閥應(yīng)用于? Evaporation(蒸發(fā))? 濺射? Diamond growth by MW-PACVD? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)? Coating(涂層)? Etch? Diffusion?CVD(化學(xué)氣相沉積)等設(shè)備上。可替代VAT閘閥。其特點(diǎn)是*閥體和阻斷器之間的間隙小于1mm*防止流入的氣體(粉末)進(jìn)入閥體內(nèi)部*使用維修配件工具包易于維護(hù)*應(yīng)用:隔離泵,氣流中的高水平工藝。屏蔽閘閥規(guī)格如下:驅(qū)動(dòng)方式:手動(dòng)或氣動(dòng)、法蘭尺寸:2.5英寸~ 10英寸、法蘭類型:ISO, JIS, ASA, CF、連接方式:焊接波紋管、閥門密封:氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM、閥蓋密封:Viton O型圈、響應(yīng)時(shí)間:≤ 2 sec、操作壓力范圍:2.5? ~ 6? : 1×10-10 mbar to 1400 mbar,8? ~ 10? : 1×10-10 mbar to 1200 mbar 、開始時(shí)的壓差:≤ 30 mbar、閘門的差動(dòng)壓力:2.5? ~ 6? : ≤ 1400 mbar / 8? ~ 10? ≤ 1200 mbar、泄漏率:< 1×10 -10 Mbar/秒、維護(hù)前可用次數(shù):200,000次、閥體溫度≤ 200 °、機(jī)構(gòu)溫度≤ 60 °C、烤爐溫度≤ 150 °C、材料:閥體(不銹鋼304)/驅(qū)動(dòng)器(鋁6061陽極氧化)、安裝位置:任意、操作壓力(N2):4 ~ 7 bar。有中國臺(tái)灣Micron、UMC、AKT、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績閘閥通過閥座和閘板接觸進(jìn)行密封,通常密封面會(huì)堆焊金屬材料以增加耐磨性。全真空可嵌入閘閥HV GATE VALVE
微泰控制系統(tǒng)閥門是安裝在半導(dǎo)體CVD設(shè)備中的主要閥門??刂葡到y(tǒng)閥門起到調(diào)節(jié)腔內(nèi)壓力的作用,通過控制系統(tǒng)自動(dòng)調(diào)節(jié)閘板的開啟和關(guān)閉。精確控制腔內(nèi)壓力的閥門分為三類:控制系統(tǒng)閘閥、蝶閥、多定位閘閥??刂葡到y(tǒng)和蝶閥使用步進(jìn)電機(jī)操作,而多定位閘閥使用氣動(dòng)控制操作。一、控制系統(tǒng)閘閥??刂葡到y(tǒng)閘閥具有可隔離的閘閥,以滑動(dòng)方式操作,可以在高真空環(huán)境中實(shí)現(xiàn)精確的壓力控制。如半導(dǎo)體等高真空工藝應(yīng)用??刂葡到y(tǒng)閘閥是自動(dòng)控制到用戶指定的值,通過控制器和步進(jìn)電機(jī)保持一致的真空壓力。二、蝶閥。該蝶閥具有緊湊的設(shè)計(jì)和堅(jiān)固的不銹鋼結(jié)構(gòu),通過閘板旋轉(zhuǎn)操作。蝶閥可以實(shí)現(xiàn)精確的壓力控制和低真空環(huán)境。例如半導(dǎo)體和工業(yè)過程。蝶閥通過控制器和步進(jìn)電機(jī)自動(dòng)控制到用戶指定的值,保持一致的真空壓力。三、多定位閘閥。多定位閘閥是一種利用壓縮空氣或氮?dú)饪刂崎l閥位置的閥門。它在閥門的頂部有一個(gè)內(nèi)置控制器,可以在本地和遠(yuǎn)程模式下操作。它還具有緊急關(guān)閉功能,以應(yīng)對(duì)泵停止或CDA壓縮干空氣丟失的情況。超大型真空閘閥TRANSFER VALVE閘閥的結(jié)構(gòu)緊湊,閥門剛性好,通道流暢,流阻數(shù)小,密封面采用不銹鋼和硬質(zhì)合金,使用壽命長。
微泰,傳輸閥 (L-MOTION)、L型轉(zhuǎn)換閥、輸送閥、轉(zhuǎn)移閥應(yīng)用于晶圓加工,半導(dǎo)體加工,可替代VAT閘閥。其特點(diǎn)是? 主體材料:鋁或不銹鋼? 緊湊型設(shè)計(jì)? 使用維修配件工具包易于維護(hù)? 應(yīng)用:半導(dǎo)體系統(tǒng)中小于 450mm 晶圓的傳輸和處理室隔離,傳輸閥 (L-MOTION)、輸送閥、轉(zhuǎn)移閥規(guī)格如下:閘門密封類型:傳輸閥 (L-MOTION)、左動(dòng)轉(zhuǎn)換閥、驅(qū)動(dòng)方式:氣動(dòng)、法蘭尺寸(內(nèi)徑) 32×222/46×236/50×336/56×500 、連接方式:焊接波紋管、閘門密封 Viton O 形圈/硫化密封件、閥蓋密封:氟橡膠O型圈、響應(yīng)時(shí)間:≤ 2 sec、工作壓力范圍:1×10-10 mbar to 1200 mbar、開始時(shí)的壓差:≤ 30 mbar、開啟時(shí)壓差: ≤ 1200 mbar r、泄漏率不銹鋼:< 1×10 -9Mbar?/秒/鋁:< 1×10 -5 mbar ?/秒、維護(hù)前可用次數(shù): ≥1,000,000次、閥體溫度≤ 200 °、機(jī)構(gòu)溫度≤ 80 °C、烤爐溫度≤ 200 °C、材料:閥體(不銹鋼304)/驅(qū)動(dòng)器(鋁6061陽極氧化)、安裝位置:任意、操作壓力(N2):4 ~ 7 bar。有中國臺(tái)灣Micron、UMC、AKT、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績,上海安宇泰環(huán)??萍加邢薰尽?
單閘板結(jié)構(gòu)簡單,使用可靠,但對(duì)密封面的角度的精度要求較高,加工和維修比較困難,溫度變化時(shí)有楔住的可能。彈性閘板,它具有結(jié)構(gòu)簡單、使用可靠的優(yōu)點(diǎn),又能產(chǎn)生微量的彈性變形來彌補(bǔ)密封面角度加工過程中產(chǎn)生的偏差,改善了工藝性,因此這種結(jié)構(gòu)已經(jīng)被廣為采用,但要注意在高溫時(shí)防止楔住。楔式閘板常用于高溫、高壓、低溫、大口徑等工況。平板閘閥主要用于輸送天然氣、原油、成品油及中低壓大口徑閥門中。平板閘閥適用的場(chǎng)合:1.石油、天然氣輸送管線。帶導(dǎo)流孔的平板閘閥還便于清掃管線。2.成品油的輸送管線和貯存設(shè)備。3.石油、天然氣的開采井口裝置,也就是采油樹用閥。4.常有懸浮顆粒介質(zhì)的管道。5.城市煤氣輸送管線。6.自來水工程。非金屬材料高壓閘閥有陶瓷閥門、玻璃閥門、塑料閥門。
閘閥閘閥的工作原理是通過升降閘板(閥瓣)來控制流體流動(dòng)。閘板通常位于閥門的底部,當(dāng)閘板提升時(shí),流體通道打開,閥門開啟;當(dāng)閘板下降并密封在閥座上時(shí),流體通道關(guān)閉,閥門關(guān)閉。閘閥的這種結(jié)構(gòu)使其在關(guān)閉狀態(tài)下具有良好的密封性能。蝶閥蝶閥的工作原理是通過旋轉(zhuǎn)蝶板(閥瓣)來控制流體的流動(dòng)。蝶板位于閥門的中心,與管道軸線成一定角度。當(dāng)?shù)逍D(zhuǎn)至與流體流動(dòng)方向平行時(shí),閥門開啟;旋轉(zhuǎn)至垂直于流體流動(dòng)方向時(shí),閥門關(guān)閉。蝶閥的這種結(jié)構(gòu)使其在全開和全關(guān)狀態(tài)下具有較小的流體阻力??刂葡到y(tǒng)和蝶閥使用步進(jìn)電機(jī)操作,而多定位閘閥使用氣動(dòng)控制操作。全真空可嵌入閘閥氣動(dòng)閥
用真空閘閥時(shí),應(yīng)考慮與工藝氣體的兼容性、工作壓力范圍、循環(huán)速度和維護(hù)要求等因素。全真空可嵌入閘閥HV GATE VALVE
微泰的傳輸閥、轉(zhuǎn)換閥、輸送閥、轉(zhuǎn)移閥是安裝在半導(dǎo)體 PVD CVD 設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng),起著將工藝模塊中的晶圓轉(zhuǎn)移到工藝室的關(guān)鍵作用,就像一條溝槽。這些閥門能極大程度地減少閘板開閉時(shí)造成的真空壓力變化,使腔室內(nèi)的真空壓力得以穩(wěn)定維持。負(fù)責(zé)門控半導(dǎo)體晶圓轉(zhuǎn)移的傳輸閥、轉(zhuǎn)換閥、輸送閥、轉(zhuǎn)移閥分為 I 型和 L 型兩種。其產(chǎn)品范圍包括多種尺寸規(guī)格,如 32 x 222、46 x 236、50 x 336、56 x 500 等。維護(hù)前使用周期可達(dá) 100 萬次,響應(yīng)時(shí)間為 2 秒,并可根據(jù)客戶要求定制法蘭。這些轉(zhuǎn)移閥產(chǎn)品有鋁制或不銹鋼制兩種,用于傳輸晶圓小于 450 毫米的半導(dǎo)體系統(tǒng)和隔離工藝室。I 型的特點(diǎn)是葉片能在垂直方向上快速移動(dòng),保證腔室壓力完美維持,它采用具有 LM 導(dǎo)向系統(tǒng)和單連桿的內(nèi)部機(jī)構(gòu),確保高耐用性和長壽命。L 型轉(zhuǎn)移閥產(chǎn)品則設(shè)計(jì)緊湊,易于維護(hù)。I 型和 L 型轉(zhuǎn)移閥在閘門開啟和關(guān)閉過程中能極大限度地減少振動(dòng),且對(duì)溫度變化非常穩(wěn)定,能確保較長的使用壽命。此外,它們即使長時(shí)間使用,產(chǎn)生的顆粒也很少,能避免晶圓缺陷和主器件污染。微泰不斷創(chuàng)新,在壓力控制和控制閥制造方面持續(xù)努力,專注于真空閘閥的研發(fā)。全真空可嵌入閘閥HV GATE VALVE