無塵車間凈化工程潔凈室的空氣凈化處理流程為：空氣新風回風混合氣流→初效過濾器空氣處理→空氣溫度調(diào)節(jié)→中效過濾器空氣處理→風機加壓送風→凈化送風管道→高效過濾器空氣處理→高效送風口→潔凈室→帶走塵埃（細菌）→回風管道→新風、初效空氣處理。重復循環(huán)以上空氣凈化過程，即可達到潔凈室內(nèi)環(huán)境凈化的目的。潔凈室環(huán)境控制指標概述如下：1、潔凈度等級標準無塵車間的空氣潔凈等級分為十級、百級、千級、萬級、十萬級以及三十萬級，新版GMP《藥品生產(chǎn)質(zhì)量管理規(guī)范（2010年修訂）》將潔凈度等級分為A、B、C、D級，于2011年3月1日起施行。

凈化工程概述復合式：復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。(1)潔凈地道(CleanTunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域**籠蓋使?jié)崈舳鹊燃夁M步至10級以上，可節(jié)省安裝運轉(zhuǎn)用度。此型式需將功課職員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響工作及品質(zhì)。ULSI制程大都采用此種型式。潔凈地道另有二項長處：A.彈性擴充輕易；B.維修設(shè)備時可在維修區(qū)等閑執(zhí)行。(2)潔凈管道(CleanTube)：將產(chǎn)品流程經(jīng)由的自動出產(chǎn)線包抄并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和功課員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風即可得到良好之潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動化出產(chǎn)線為相宜使用。藥品、食物業(yè)界及半導體業(yè)界均合用。(3)并裝局部潔凈室(CleanSpot)：將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級進步為10~1000級以上，認為出產(chǎn)之用；潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。