凈化工程概述復(fù)合式：復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。(1)潔凈地道(CleanTunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域**籠蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)進(jìn)步至10級(jí)以上，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)用度。此型式需將功課職員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時(shí)影響工作及品質(zhì)。ULSI制程大都采用此種型式。潔凈地道另有二項(xiàng)長(zhǎng)處：A.彈性擴(kuò)充輕易；B.維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)等閑執(zhí)行。(2)潔凈管道(CleanTube)：將產(chǎn)品流程經(jīng)由的自動(dòng)出產(chǎn)線包抄并凈化處理，將潔凈度等級(jí)提至100級(jí)以上。因產(chǎn)品和功課員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動(dòng)化出產(chǎn)線為相宜使用。藥品、食物業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均合用。(3)并裝局部潔凈室(CleanSpot)：將潔凈室等級(jí)10,000~100,000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級(jí)進(jìn)步為10~1000級(jí)以上，認(rèn)為出產(chǎn)之用；潔凈工作臺(tái)、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類。

①在實(shí)施比較好的設(shè)計(jì)條件之前，應(yīng)詳細(xì)說(shuō)明ISO擁有的水平。②表面層中的旋風(fēng)類型表示純化室的氣體特性：u=一個(gè)-路流；n，非一條路流；M=混合流形式（U和N的混合物）。③平均旋風(fēng)速率通常適用于房間中的單向流。單側(cè)旋風(fēng)速度需要在測(cè)量區(qū)域的形狀下加熱的溫度。單側(cè)流速不指濁度的正風(fēng)。④非邊緣流量和混合流量在一小時(shí)內(nèi)使用自然通風(fēng)的頻率。使用適用于建筑物高度3.M的無(wú)塵房間的系數(shù)排放空氣量建議值。⑤注意嚴(yán)格的密封對(duì)策。⑥硒或旋風(fēng)天然屏障適用于合理的污染物分離和自然保護(hù)區(qū)。實(shí)際上，在此階段，全球所有**的綜合電路制造企業(yè)。生產(chǎn)者根據(jù)產(chǎn)品類型進(jìn)行處理。選擇了生產(chǎn)過程的技術(shù)。生產(chǎn)線設(shè)備。原材料采購(gòu)和制造無(wú)塵車間的社會(huì)經(jīng)驗(yàn)和經(jīng)濟(jì)發(fā)展證實(shí)，綜合電路清潔廠（房屋）的過程（房屋）需要空氣清潔。等級(jí)。根據(jù)統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)，集成電路制造企業(yè)。制造商在計(jì)劃和建造集成電路芯片車間凈化項(xiàng)目時(shí)選擇空氣清潔水平。凈化室的木板和空間規(guī)劃?？諝鈨艋O(shè)備。凈化室建筑物和其他技術(shù)規(guī)格。獨(dú)特的工程措施。每個(gè)都有。不同的。